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lbaishankl金蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助在測4200時加?xùn)艍弘姌O炸掉是因為什么？
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| 我是做二維材料方向的，在測二維材料晶體管的時候（器件具體條件：300nmSiO2做絕緣層，背柵測試，手撕WSe2，電子束曝光直寫，熱蒸鍍電極Pd/Au）測試輸出曲線的時候情況正常，但是測轉(zhuǎn)移曲線的時候，在加gate的時候不定時出現(xiàn)炸器件的現(xiàn)象。就是器件的兩個電極帶著連接的材料炸飛。探針臺和銀漿引導(dǎo)線都試過，都會出現(xiàn)類似的情況。加?xùn)艍悍秶?-80V之間。所用測試設(shè)備Keithely 4200. 我們之前去過其他組測試，別人的設(shè)備調(diào)試的好，不會炸電極�；貋硪粶y試，同樣的器件還是會不定時的炸。尤其是導(dǎo)電性好的器件。初步懷疑設(shè)備提調(diào)試問題。請問有木有大神知道怎么解決？ |
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rugis
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5樓2022-05-06 13:00:43
SSTengfei
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2樓2019-04-03 21:26:26
3樓2019-04-07 21:40:41
4樓2019-04-08 19:46:43
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