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[求助]
我有一個硅片基底的試樣,表面是塑料有機物膜,想打半球形凹孔,請教合適的工藝 已有2人參與
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| 大家好,我想在一個試樣表面打半球形凹孔陣列,試樣參數(shù)如下:尺寸1cm x 1cm x 0.1cm硅片,表面鍍有200nm塑料膜。半球形凹孔(不能打穿,要盲孔)要求直徑盡量的小,50微米上下(可以商量),凹孔間距65微米左右(可以商量)。請問什么選擇什么刻蝕工藝比較合適?要求刻蝕的時候最好不要改變非刻蝕區(qū)的物質組成。謝謝各位。 |
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金蟲 (著名寫手)
木蟲之王 (文壇精英)
上善若水,利萬物而不爭
金蟲 (著名寫手)
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