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網(wǎng)絡(luò)1234新蟲 (初入文壇)
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磁控濺射 已有2人參與
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我在做磁控濺射的時(shí)候有輝光，但是自偏壓為0，這是為什么啊，用的是氧化釔陶瓷靶材 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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自偏壓為0，可能與設(shè)備配置和操作有關(guān)。 調(diào)整電源工作方式，使得設(shè)備在"自偏"模式下工作，此時(shí)系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)整偏壓以獲得最佳的鍍膜效果。如果電源初始設(shè)置的自偏壓已經(jīng)接近0V，或者設(shè)備調(diào)節(jié)到最優(yōu)狀態(tài)，真正的最佳偏壓就接近于0V，那么自偏壓表現(xiàn)出的就是0。 磁控濺射系統(tǒng)的電源通常是直流(DC)或脈沖直流(Pulse DC)電源，對(duì)于一些絕緣性或半絕緣性的硬質(zhì)靶材(氧化物、硅化物靶材)，會(huì)因?yàn)槎坞娮拥姆e累在靶材上形成絕緣層，使得電流不能正常進(jìn)行，影響了鍍膜過程。在這種情況下，一般使用射頻(RF)電源或中頻(MF)電源。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2023-10-11 11:22:55
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我同學(xué)用的銅靶做的時(shí)候一直都有自偏壓，我以前用氧化釔做的時(shí)候也有自偏壓，但是后來不知道為什么再做的時(shí)候就沒有自偏壓了 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
3樓2023-10-11 21:30:30
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4樓2023-10-11 21:33:07
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5樓2023-10-11 21:44:27
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6樓2023-10-12 11:26:22
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