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求助:在玻璃基板上旋凃pi溶液,膜厚問題 已有1人參與
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在玻璃基板上旋凃pi溶液,退火后進行剝離,發(fā)現(xiàn)他的膜太薄了,大概50nm左右,想要100nm左右的,大佬們該怎么做?我旋凃轉速為700r @hwweven 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
木蟲之王 (文壇精英)
上善若水,利萬物而不爭
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上善若水,利萬物而不爭
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調整旋轉速度:在固定其他參數的情況下,提高旋轉速度會降低膜的厚度,反之則會增加膜的厚度。如果你目前的膜厚度為50nm,轉速為700轉/分,你希望得到大約100nm的厚度,將旋轉速度降低一些可能會有幫助。具體多少可以進行一些嘗試。 調整溶液濃度:提高溶液的濃度也可以增加膜的厚度。在保持旋轉速度不變的情況下,將溶液的濃度增大,可以得到更厚的膜。 多次旋涂:還可以通過多次旋涂的方式來增加膜的厚度,每次旋涂后進行適當的熱處理,然后再進行下一層的旋涂。 調整旋涂時間:在保持其他參數不變的情況下,延長旋涂時間可以增加膜的厚度。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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