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wj0702114081金蟲 (正式寫手)
學(xué)神的奴隸
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[交流]
請教硅通孔刻蝕的問題。
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用bosch刻蝕硅通孔,之前用泵油粘貼過載片,刻蝕到最后泵油會(huì)溢出到結(jié)構(gòu)里,遮擋刻蝕。 后來咨詢工程師,說用真空硅脂粘貼載片。 樣品背面鍍了一層鋁做截至層。 但是刻蝕到結(jié)構(gòu)的最底部,圖形的邊角部分總是刻蝕不干凈。 是刻蝕時(shí)間不夠呢還是底部鍍膜和硅脂有影響? 請教大佬,si通孔刻蝕,有什么技巧嗎? |

金蟲 (正式寫手)
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新蟲 (小有名氣)

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