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研磨拋光（CMP）仿真，即根據(jù)CMP機械運動的模型，仿真工件上某個質(zhì)點的運動軌跡。

具體描述為：

x和y都是關(guān)于時間t的函數(shù),有n組不同的x和y的函數(shù)表達式,在給定的時間t內(nèi)，利用matlab同時繪出這n組函數(shù)的曲線軌跡。

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1樓 2022-06-30 23:45:58

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2樓2022-07-01 07:02:21

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2樓: Originally posted by 雨中奔跑 at 2022-07-01 07:02:21
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你好，謝謝回復(fù)。
我本來想上傳圖片的，但是手機app沒辦法上傳。
我把文獻照片保存的下面的鏈接，您看一下。
https://qr.maitube.com/img/GEABJH

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3樓2022-07-01 08:42:31

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4樓2022-07-01 17:02:22

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2樓: Originally posted by 雨中奔跑 at 2022-07-01 07:02:21
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我最近在用Matlab編寫一段研磨拋光工藝設(shè)備當(dāng)中的磨粒在工件表面的運動軌跡代碼，根據(jù)的是如下圖所示文獻中的質(zhì)點運動方程。
我自己可以編寫單個質(zhì)點和少數(shù)幾個質(zhì)點的軌跡，如下是我自己編寫的代碼簡略版：
1、定義時間t=linspace（0，10，1000）；
2、給出質(zhì)點x坐標(biāo)關(guān)于時間t的函數(shù)x=f（t）；
3、給出質(zhì)點y坐標(biāo)關(guān)于時間t的函數(shù)y=f1（t）；
（以上兩個函數(shù)就是第一張圖片（2-4）給出的軌跡方程）
4、plot（x，y）
如果是多個質(zhì)點同時畫，每個質(zhì)點軌跡方程不相同的參數(shù)有兩個，一個是半徑rp，一個是與x軸的夾角theta。
給定rp和theta，我自己可以同時畫幾個質(zhì)點的軌跡，即plot（x1，y1，x2，y2……）。
但是要在工件所在的圓形區(qū)域內(nèi)，隨機選n個點，比如1000個點，同時畫它們的軌跡，如最后2張圖片，我就無能為力了。
一方面不知道怎么去圓形區(qū)域隨機取點，一方面就算知道怎么取點，也不知道怎么去帶入軌跡方程畫圖。
以上。

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5樓2022-07-01 22:08:03

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

以下代碼供參考。在 MATLAB R2009a 上可運行。
你應(yīng)仔細(xì)檢查，看看研磨運動學(xué)模型軌跡方程有沒有寫錯。

CODE:

   
%  1. 在工件所在的圓形區(qū)域內(nèi)，圓形區(qū)域隨機取點

close all;clear,clc

R = 230;  % 研磨盤半徑

r = 90;  % 工件盤半徑

e = 130; %  研磨盤與工件盤中心距

theta_T = 360;

% 圓形區(qū)域隨機取點 , 圓心(0,0)

n = 100;  % 點數(shù)

r_100 = R*rand(n,1);  %  極徑

theta_T_100 = theta_T*rand(n,1);  %   相位角

% 畫 研磨盤

tt = 0:pi/20:2*pi;

x1 = R*cos(tt);

y1 = R*sin(tt);

plot(x1,y1,'LineWidth',2);

axis equal

hold on

% 畫 工件盤

x2 = r*cos(tt)+e;

y2 = r*sin(tt);

plot(x2,y2,'LineWidth',2);

% 畫 隨機點

x3 = r_100.*cos(theta_T_100*pi/180);

y3 = r_100.*sin(theta_T_100*pi/180);

plot(x3,y3,'.');

%  --------------------------------------------------------------------------------

%  2. 帶入軌跡方程畫圖

wp = 10;  % 研磨盤轉(zhuǎn)速

ap = theta_T_100*pi/180;   %  初始相位角

rp = r_100;  %  初始極徑

i1 = sqrt(3)/5;  %  轉(zhuǎn)速比

ww = wp*i1;  %   工件轉(zhuǎn)速

t2 = 1  % 加工時間

t = 0:0.01:t2;

for k = 1:n

    %     軌跡方程

    xp2 = rp(k)*cos(ap(k) + wp*t- ww*t) - e*cos(ww*t)+e;

    % xp2 = rp(k)*cos(ap(k) + wp*t- ww*t) - e*cos(ww*t);

    yp2 = rp(k)*sin(ap(k) + wp*t- ww*t) + e*sin(ww*t);

    plot(xp2,yp2)

%     刪除以下兩句，可見完整的研磨運動軌跡

    xlim([-90+e 90+e])  % axis limits

    ylim([-90 90])  % axis limits

end

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6樓2022-07-02 14:44:17

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【答案】應(yīng)助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
允執(zhí)厥中: 金幣+2000, ★★★★★最佳答案, 滿足需求 2022-07-03 09:09:46

更正：

1. 坐標(biāo)系平移 (0,0) -> (e,0)
2. ww = wp/i1; % 工件轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速比i = wp/ww

CODE:

   
%  1. 在工件所在的圓形區(qū)域內(nèi)，圓形區(qū)域隨機取點

close all;clear,clc

R = 230;  % 研磨盤半徑

r = 90;  % 工件盤半徑

e = 130; %  研磨盤與工件盤中心距

theta_T = 360;

% 圓形區(qū)域隨機取點 , 坐標(biāo)系1圓心(0,0)   坐標(biāo)系2圓心(e,0)

n = 100;  % 點數(shù)

r_100 = R*rand(n,1);  %  極徑

theta_T_100 = theta_T*rand(n,1);  %   相位角

% r_100 = 90;  %  極徑

% theta_T_100 = 0;  %   相位角

% 畫 研磨盤   坐標(biāo)系2圓心(e,0)

tt = 0:pi/20:2*pi;

x1 = R*cos(tt)-e;

y1 = R*sin(tt);

plot(x1,y1,'LineWidth',3);

axis equal

hold on

% 畫 工件盤  坐標(biāo)系2圓心(e,0)

x2 = r*cos(tt)+0;

y2 = r*sin(tt);

plot(x2,y2,'LineWidth',5);

% 畫 隨機點  坐標(biāo)系2圓心(e,0)

x3 = r_100.*cos(theta_T_100*pi/180)-e;

y3 = r_100.*sin(theta_T_100*pi/180);

plot(x3,y3,'.');

%  --------------------------------------------------------------------------------

%  2. 帶入軌跡方程畫圖

wp = 10;  % 研磨盤轉(zhuǎn)速

ap = theta_T_100*pi/180;   %  初始相位角

rp = r_100;  %  初始極徑

% ap = 0;   %  初始相位角

% rp = 90;  %  初始極徑

i1 = 0.3819  %  轉(zhuǎn)速比  0.3464 sqrt(3)/5  4/3 0.3819

ww = wp/i1;  %   工件轉(zhuǎn)速

t2 = 0.3  % 加工時間

t = 0:0.001:t2;

for k = 1:n

    %     軌跡方程

%     xp2 = rp(k)*cos(ap(k) + wp*t- ww*t) - e*cos(ww*t)+e;

    xp2 = rp(k)*cos(ap(k) + wp*t- ww*t) - e*cos(ww*t);

    yp2 = rp(k)*sin(ap(k) + wp*t- ww*t) + e*sin(ww*t);

    plot(xp2,yp2)

% %     刪除以下兩句，可見完整的研磨運動軌跡

    xlim([-90 90])  % axis limits

    ylim([-90 90])  % axis limits

end

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7樓2022-07-02 18:28:32

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引用回帖:

7樓: Originally posted by zyh700600 at 2022-07-02 18:28:32
更正：

1. 坐標(biāo)系平移  (0,0) -> (e,0)
2. ww = wp/i1;  % 工件轉(zhuǎn)速  轉(zhuǎn)速比i = wp/ww

%  1. 在工件所在的圓形區(qū)域內(nèi)，圓形區(qū)域隨機取點

close all;clear,clc

R = 230;  % 研磨盤半 ...

真的太棒了！我剛接觸matlab，本以為可以輕松搞定這個隨機軌跡，結(jié)果整了半天，還是不對。自己的思路這些是對的，但是查了很多資料，就是編寫不對代碼

，搞得暈頭轉(zhuǎn)向的

。您的代碼非常詳細(xì)，層次也非常清楚，辛苦辛苦

！

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8樓2022-07-03 09:16:45

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8樓: Originally posted by 允執(zhí)厥中 at 2022-07-03 09:16:45
真的太棒了！我剛接觸matlab，本以為可以輕松搞定這個隨機軌跡，結(jié)果整了半天，還是不對。自己的思路這些是對的，但是查了很多資料，就是編寫不對代碼

，搞得暈頭轉(zhuǎn)向的

。您的代碼非常詳細(xì)，層次也非常清 ...

9樓2022-07-03 09:31:49

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