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| 【懸賞金幣】回答本帖問(wèn)題,作者xrq0525將贈(zèng)送您 50 個(gè)金幣 | ||
xrq0525金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
關(guān)于光刻膠選擇的問(wèn)題,請(qǐng)教一下前輩們
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準(zhǔn)備制作微結(jié)構(gòu)材料,要直接用顯影后的光刻膠硅片做陰模,微結(jié)構(gòu)尺寸20微米,高度10微米,間距3微米,是用su-8還是AZ好一些呢?主要是精度要夠。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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我覺(jué)得沒(méi)有問(wèn)題,深寬比也只有3!您是間距3,又不是留下來(lái)3!精準(zhǔn)控制就看工藝了 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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也不說(shuō)做不到,相對(duì)很難!畢竟正膠!我7u直徑22u高柱子是做過(guò)!但是同比降下來(lái)還沒(méi)試過(guò)! 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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