 |
 |
 |
| 24小時(shí)熱門版塊排行榜 |
- >論壇更新日志 (5424)
- >導(dǎo)師招生 (986)
- >考研 (887)
- >蟲(chóng)友互識(shí) (677)
- >文獻(xiàn)求助 (318)
- >休閑灌水 (177)
- >考博 (158)
- >碩博家園 (86)
- >基金申請(qǐng) (67)
- >論文投稿 (60)
- >公派出國(guó) (53)
- >論文道賀祈福 (51)
- >招聘信息布告欄 (47)
- >教師之家 (45)
- >博后之家 (41)
- >SciFinder/Reaxys (38)
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1317 | 回復(fù): 2 | |||
Norla新蟲(chóng) (初入文壇)
|
[交流]
InP上PECVD法生長(zhǎng)SiN應(yīng)力問(wèn)題 已有1人參與
|
|
化合物半導(dǎo)體工藝大神們，有個(gè)技術(shù)問(wèn)題求教一下，在InP上長(zhǎng)SiN鈍化，能扛得住500多度高溫的Zn擴(kuò)散不會(huì)裂開(kāi)，也擋得住擴(kuò)散就行。試了很久，要么很容易就在高溫下起泡要么就扛不住Zn擴(kuò)散，測(cè)暗電流測(cè)出來(lái)很大，高溫出來(lái)用稀鹽酸一泡就全部掉了，感覺(jué)應(yīng)該是應(yīng)力問(wèn)題。目前recipe的條件如下： 工作頻率： 13.65MHz 溫度：260℃ 壓強(qiáng)：1.5Pa power：500W SiH4 ：110 sccm（He保護(hù)氣，5% 的 SiH4含量） NH3 : 8.8 sccm Ar：1000sccm 現(xiàn)在成膜速率大概十幾nm/min。沒(méi)有N2管路，所以只能試NH3。各位大神走過(guò)路過(guò)麻煩指點(diǎn)一下，謝謝 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
0856材料306分調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
北京航空航天大學(xué)26級(jí)博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有17人回復(fù)
-
無(wú)機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有71人回復(fù)
-
溫州大學(xué)王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊(duì)_學(xué)生高自由度成長(zhǎng)_擅長(zhǎng)學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
2樓2021-01-20 21:48:10
Norla
新蟲(chóng) (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 143.4
- 沙發(fā): 1
- 帖子: 26
- 在線: 16.9小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 24801576
- 注冊(cè): 2020-12-21
- 性別: GG
- 專業(yè): 集成電路制造與封裝
3樓2021-01-21 09:10:53
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 Norla 的主題更新
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 288求調(diào)劑 +13 | 王曉陽(yáng)- 2026-03-09 | 18/900 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料工程330分求調(diào)劑，一志愿985 +4 | 小材化本科 2026-03-07 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 083000環(huán)境科學(xué)與工程調(diào)劑 +8 | mingmingry 2026-03-09 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 293求調(diào)劑，一志愿陜師大生物學(xué) +3 | ??????.?.??? 2026-03-09 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料工程307，求調(diào)劑 +7 | 我要燃燒你的夢(mèng) 2026-03-08 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 327求調(diào)劑 +3 | Ffff03 2026-03-10 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 歡迎211本科同學(xué)，過(guò)A區(qū)國(guó)家線，A區(qū)非偏遠(yuǎn)一本，交叉學(xué)科課題組 +23 | lisimayy 2026-03-04 | 37/1850 |
|
|
|
[考研] 2026考研求調(diào)劑-材料類-本科211一志愿985-初試301分 +10 | 蟲(chóng)友233 2026-03-07 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 材料工程專碩調(diào)劑自薦信，初試323 +6 | 李白26 2026-03-07 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0817化學(xué)工程319求調(diào)劑 +7 | lv945 2026-03-08 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +6 | 呼呼？~+123456 2026-03-08 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工 326 求調(diào)劑 +4 | 熱愛(ài)生活ing 2026-03-09 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085701環(huán)境工程專碩求調(diào)劑 +5 | 幼稚園大班打手 2026-03-08 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 288求調(diào)劑085600材料與化工 +13 | Daunrin 2026-03-07 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 301求調(diào)劑 +5 | 一二LV 2026-03-07 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +4 | 52hz~~ 2026-03-05 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 不限學(xué)校專業(yè)的調(diào)劑同學(xué)看過(guò)來(lái) +5 | 啊擺啊擺 2026-03-05 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 085600，一志愿鄭州大學(xué)，280分求調(diào)劑 +7 | Wuqi725 2026-03-05 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +4 | 曼殊2266 2026-03-05 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 293求調(diào)劑 +3 | 是樂(lè)渝哇 2026-03-04 | 3/150 |
|