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柳昭和鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
我有一個(gè)硅片基底的試樣,表面是塑料有機(jī)物膜,想打半球形凹孔,請教合適的工藝 已有2人參與
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| 大家好,我想在一個(gè)試樣表面打半球形凹孔陣列,試樣參數(shù)如下:尺寸1cm x 1cm x 0.1cm硅片,表面鍍有200nm塑料膜。半球形凹孔(不能打穿,要盲孔)要求直徑盡量的小,50微米上下(可以商量),凹孔間距65微米左右(可以商量)。請問什么選擇什么刻蝕工藝比較合適?要求刻蝕的時(shí)候最好不要改變非刻蝕區(qū)的物質(zhì)組成。謝謝各位。 |
金蟲 (著名寫手)
木蟲之王 (文壇精英)
上善若水,利萬物而不爭
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OK |
鐵蟲 (小有名氣)
金蟲 (著名寫手)
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[教師之家] 售瀆SCI文章,我:8⊙ 55 1⊙ 54。備注【⊙=0】 +3 | vs9ky3szrj 2026-03-06 | 3/150 |
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[基金申請] 成果系統(tǒng)訪問量大,請一小時(shí)后再嘗試。---NSFC啥時(shí)候好哦,已經(jīng)兩天這樣了 +4 | NSFC2026我來了 2026-02-28 | 4/200 |
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