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[交流]
濺射陶瓷薄膜,陶瓷靶材致密度是不是越高好?
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我用了99.99的氧化鋁靶材濺射薄膜,靶材密度估算是3.6;可惜沒有濺射下來(lái)。 尋找原因: 1、背板與靶材的有沾牢固。 2、功率最大用到200W。 3、百分之十的氧氬混合氣。 4、基臺(tái)500攝氏度。 5、靶材開裂,靶材厚度1.5mm 突發(fā)想法,靶材致密度越高,會(huì)不會(huì)影響濺射? 請(qǐng)大家提提意見, |

至尊木蟲 (著名寫手)
木蟲
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一般是綁定結(jié)合不好導(dǎo)致靶材表面熱量不能快速導(dǎo)出,濺射過程不能順利進(jìn)行。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |

木蟲 (著名寫手)
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如果有射頻電源,建議濺射期間,打開射頻電源;純鋁濺射,有時(shí)因氧化問題而產(chǎn)生靶中毒,都會(huì)導(dǎo)致靶材發(fā)紅甚至開裂,關(guān)鍵有時(shí)候根本不起輝。做氧化鋁陶瓷膜為啥不考慮做反應(yīng)鍍膜,純鋁靶材+氧氣? 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |



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