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磁控直流濺射鈦顏色變成了藍(lán)綠色! 已有1人參與
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求助,磁控濺射直流電源濺射鈦靶顏色變成了藍(lán)綠色(全新的靶),之前都是正常的,為紫紅色,大概2個(gè)月多沒(méi)用,這次打開(kāi)濺射就變成了藍(lán)綠色,隨著功率增加,顏色越綠,這是什么情況啊,電源哪去維修檢測(cè),在廠家測(cè)試正常,為紫紅色輝光,采用射頻電源接直流電源所對(duì)應(yīng)的靶頭,顏色也為紫紅色,糊涂了不知道什么原因,如何解決,設(shè)備商人員也不知到哪里的問(wèn)題,求助大家。! 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
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