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化學(xué)氣相沉積（CVD）是一種薄膜工藝，化學(xué)氣相沉積是反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)物質(zhì)沉積在加熱的固態(tài)基體表面,進(jìn)而制得固體材料的工藝技術(shù)�；瘜W(xué)氣相沉積的方法很多，包括MOCVD、ALD、CVI和PECVD等。有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積（MOCVD）是把反應(yīng)物質(zhì)全部以有機(jī)金屬化合物的氣體分子形式，用H2作載帶氣體送到反應(yīng)室,進(jìn)行熱分解反應(yīng)而形成化合物半導(dǎo)體的一種新技術(shù)。

Alicat（艾里卡特）的質(zhì)量流量和壓力控制器非常適用于MOCVD 系統(tǒng)，因?yàn)椴东@的前體和載氣的流量和壓力必須經(jīng)過(guò)精確控制，以達(dá)到理想操作效率。在這里，我們將討論幾個(gè)MOCVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)選項(xiàng)，Alicat 設(shè)備為重要的MOCVD變量（如氣體流量、壓力等）提供高重復(fù)性、快速和閉環(huán)控制。

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wszyq1985: 回帖置頂 2024-08-15 09:55:35

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2樓2024-08-15 09:55:29

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wdwd123

鐵桿木蟲(chóng) (職業(yè)作家)

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dfad

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3樓2024-08-15 10:02:38

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假大空

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4樓2024-08-15 10:03:03

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tzynew

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5樓2024-08-15 10:03:50

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庚辰辛丑

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6樓2024-08-15 10:03:56

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nono2009

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7樓2024-08-15 10:24:14

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slytjiaofei

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8樓2024-08-15 10:55:50

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逍遙仙影

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9樓2024-08-15 11:06:30

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xiaoqiuqiu20

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10樓2024-08-15 11:06:39

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