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[求助]
旋涂不均勻該怎么解決 已有1人參與
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| 求助各位，在旋涂的薄膜為什么中間薄，邊緣厚，降低轉(zhuǎn)速也沒有用，加長時(shí)間就又不能達(dá)到需要的薄膜厚度了，經(jīng)常出現(xiàn)邊緣旋涂不到的情況，還會(huì)出現(xiàn)有旋涂的地方有薄膜特別薄的小圓圈，有沒有大神有這方面經(jīng)驗(yàn)幫忙解答一下呀？ |
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6樓2023-05-30 08:16:11
weirensi
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