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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 單晶硅濕法刻蝕線寬
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單晶硅濕法刻蝕線寬 已有3人參與
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| 請教：用2um正膠光刻出0.5mm的圓圖形，濕法刻蝕硅納米線，圖形內刻不出來，發(fā)白或發(fā)黃，正常是黑色的，圓形尺寸1mm以上同樣的工藝可以刻出來。是 光刻膠太厚了？怎么選擇光刻膠，還是刻蝕方法不對？ |
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wyc6樓2021-02-05 08:59:58
babyoflion
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2樓2021-01-22 19:34:06
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babyoflion
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4樓2021-01-23 11:16:42
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