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[交流]
二氧化硅氣凝膠薄膜制備中的孔隙率為何這么低？
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溶膠凝膠+旋涂在硅片上制備二氧化硅氣凝膠薄膜，物質(zhì)的量比例：teos：mtms（甲基三甲氧基硅烷）：ethanol：h2o=1:0.4：16:4，凝膠時(shí)間12h，轉(zhuǎn)速1000rpm，結(jié)果，20萬倍電鏡下，薄膜表面幾乎沒有孔，3萬倍下也是幾百納米的大孔，孔隙率極低，有哪位大佬能出手幫忙看一下原因嗎？萬分感激�。。�！ 1_0001.jpg 1_0002.jpg 5_0004.jpg |
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5樓2021-04-10 10:55:21
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3樓2020-09-10 16:49:39
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氧化硅凝膠常壓干燥之后，收縮一般會(huì)很大，孔隙率比較低。建議用氮吸附方法測試一下孔分布。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
4樓2021-03-27 13:58:44
feijigong
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產(chǎn)品可靠: 金幣+10, 十分有用的回答 2021-04-12 18:03:47
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產(chǎn)品可靠: 金幣+10, 十分有用的回答 2021-04-12 18:03:47
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我沒有制備氣凝膠薄膜的經(jīng)驗(yàn)。附著力主要是物理錨固力和化學(xué)鍵力共同結(jié)果吧。硅片表面的粗糙度、表面能，硅溶膠在硅片表面的潤濕性、溶膠顆粒的羥基含量，氣凝膠薄膜的本身強(qiáng)度，這些因素都會(huì)影響上面的力大小。建議從這些方面考慮一下措施。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
6樓2021-04-12 09:13:11
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