 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 磁性鎳靶材鍍膜問題
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2797 | 回復: 12 | ||
| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者儈勒峰南將贈送您 10 個金幣 | ||
| 當前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | ||
[求助]
磁性鎳靶材鍍膜問題 已有3人參與
|
||
 我們實驗室最近使用了鎳靶材進行多靶磁控濺射鍍膜，但是鍍膜結果很不理想，想問下大家這個問題怎么解決。我們的靶材是在一個5mm厚的銅背板上加了一個1.5mm厚的鎳靶，工作的時候使用直流電源300W，但是起輝的壓強特別高，需要到50Pa以上才能起輝，并且工作時實際功率很不穩(wěn)定，一直在100W上下跳動，一會兒高一會兒低，輝光也是不穩(wěn)。。 我懷疑有幾個原因： 1.腔室真空度不夠。我們設備最近橡膠密封圈貌似有點問題，最高真空只能抽到1.5E-3左右 2.工作壓強到70Pa左右時實際功率能穩(wěn)定下來，但是壓強太高鍍膜的效果也會下降。。 麻煩有經驗的小伙伴分析下這個問題，謝謝大家~~！ |
回復此樓» 猜你喜歡
XPS/?λXPS
已經有0人回復
-
河北大學-26年秋季入學化學博士招生
已經有0人回復
-
無機化學論文潤色/翻譯怎么收費?
已經有72人回復
-
招收2026年入學博士研究生
已經有10人回復
-
0856材料306分調劑
已經有2人回復
-
北京航空航天大學26級博士招生-生物醫(yī)學工程-合成生物學
已經有14人回復
4樓2021-04-16 05:45:05
bobo201266
金蟲 (正式寫手)
- 應助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1550.9
- 散金: 100
- 紅花: 3
- 帖子: 418
- 在線: 20.9小時
- 蟲號: 15108252
- 注冊: 2019-05-16
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導體微納機電器件與系統
2樓2021-04-14 22:01:24
|
本帖內容被屏蔽 |
3樓2021-04-15 22:20:14
5樓2021-04-16 13:46:42
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考博] 2026年博士名額撿漏 +3 | 科研ya 2026-03-04 | 4/200 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 歡迎211本科同學，過A區(qū)國家線，A區(qū)非偏遠一本，交叉學科課題組 +12 | lisimayy 2026-03-04 | 22/1100 |
|
|
|
[考研] 085602 293分求調劑 +3 | SivanNano. 2026-03-05 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 313求調劑 +3 | 水流年lc 2026-02-28 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 085600材料調劑 總分330 +5 | 池池丶 2026-03-03 | 5/250 |
|
|
[考研] 376求調劑 +3 | 王浩然sam 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 調劑材料學碩 +6 | 詞凝Y 2026-03-02 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 成績276，專業(yè)代碼0856求調劑 +10 | 小陳朵 2026-03-03 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 一志愿中石油，化學工程，301求調劑 +3 | 豚饅枳枳 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調劑 +7 | 博斯特525 2026-03-04 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 292求調劑 +9 | yhk_819 2026-02-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 322,求調劑 +3 | 菜菜愛玩 2026-03-04 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 291求調劑 +3 | 咕嚕咕嚕123123 2026-03-02 | 4/200 |
|
|
|
[碩博家園] 2025屆雙非化工碩士畢業(yè)，申博 +4 | 更多的是 2026-02-27 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿華中科技大學，化學專業(yè)344分，求調劑 +6 | 邢xing1 2026-03-02 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 268求調劑 +10 | 簡單點0 2026-03-02 | 14/700 |
|
|
|
[考研] 268求調劑 +6 | 好運連綿不絕 2026-03-02 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 288求調劑 +3 | 少71.8 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 哈工大計算機劉劼團隊招生 +4 | hit_aiot 2026-03-01 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 材料類求調劑 +11 | wana_kiko 2026-02-28 | 14/700 |
|