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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光刻膠研發(fā)過程問題求助
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[求助]
光刻膠研發(fā)過程問題求助
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i ca光刻膠，膜厚5um，開2um的線條。顯影完畢后，過曝的情況下在cd sem視野中線條內部出現白色斑點，有無大佬有類似的經驗或者有解決的思路。目前我自己嘗試更換前烘曝光peb等工藝條件均無改善，實在是黔驢技窮 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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3樓2025-03-03 10:34:10
Andre_W
銀蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 半導體電子器件
2樓2025-03-01 20:57:29
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4樓2025-03-03 10:49:42
zhaowenhuang
新蟲 (小有名氣)
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- 帖子: 79
- 在線: 302.1小時
- 蟲號: 1159660
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- 專業(yè): 能源化工
5樓2025-04-09 22:47:51
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