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Bluebery1新蟲 (小有名氣)
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空間光調(diào)制器SLM做圖案化加工的最小結(jié)構(gòu)大小與激光光源的關(guān)系
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| 看許多文章里用空間光調(diào)制器加載相位圖做圖案化加工，用的都是飛秒激光，得到的結(jié)構(gòu)最小線寬基本都在幾百納米左右。想請教一下，如果采用連續(xù)激光的話能加工出那么小的結(jié)構(gòu)嗎？會不會是飛秒激光產(chǎn)生的是雙光子吸收熱效應(yīng)低導(dǎo)致的其結(jié)果要比用連續(xù)激光加工的結(jié)果要好呢？希望得到指點。@dut_ameng@wulishi8 |
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Bluebery1
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3樓2022-10-11 19:24:41
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2樓2022-10-11 18:04:01
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4樓2022-10-11 19:37:45
Bluebery1
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5樓2022-10-12 10:08:05
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