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shenyp09木蟲 (小有名氣)
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[求助]
以甲烷氣源在銅/鉭襯底表面CVD沉積碳薄膜
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希望利用12C同位素富集甲烷氣源在拋光后的銅或鉭襯表面沉積一層幾微米厚碳層，石墨烯、納米碳管或者普通的石墨層均可。 自備氣體，請問哪里可以加工，對襯底表面有什么要求，耗氣量是多少（同位素氣體比較貴）？ |
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3樓2021-07-06 15:12:04
shenyp09
木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
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- 蟲號: 2442635
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- 專業(yè): 核物理
4樓2021-07-06 18:28:34
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