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半寸日光新蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射裝備中，樣品臺(tái)時(shí)常出現(xiàn)輝光如何解決？
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不加偏壓情況下，導(dǎo)電膠+綁絲固定樣品，加熱兩百度，樣平臺(tái)上時(shí)常出現(xiàn)輝光是什么原因？在同一條件下時(shí)，樣平臺(tái)上輝光有時(shí)出現(xiàn)出現(xiàn)，有時(shí)消失，這個(gè)要怎么解決？是因?yàn)榧舛朔烹�，還是狹縫還是導(dǎo)電膠所致？ @fzm1108 @小_包子 @xiaofan700 @caominone @TXJ2013 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
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2樓2022-06-15 12:53:43
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請(qǐng)問(wèn)下，這個(gè)自偏壓的話有什么在工藝參數(shù)不變的情況下比較好點(diǎn)解決方法嗎？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
3樓2022-06-15 19:05:08
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4樓2022-06-15 19:22:46
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5樓2022-06-21 08:28:15
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