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單晶硅濕法刻蝕線寬 已有3人參與
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| 請(qǐng)教:用2um正膠光刻出0.5mm的圓圖形,濕法刻蝕硅納米線,圖形內(nèi)刻不出來(lái),發(fā)白或發(fā)黃,正常是黑色的,圓形尺寸1mm以上同樣的工藝可以刻出來(lái)。是 光刻膠太厚了?怎么選擇光刻膠,還是刻蝕方法不對(duì)? |
金蟲 (著名寫手)
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新蟲 (初入文壇)
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