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huihuihuang新蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于利用橢偏儀測試雙層薄膜的光學常數(shù)問題
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請教一個問題： A：N型硅片上沉積有富硼層，B：N型硅片上沉積有富硼層和硼硅酸玻璃層（硼硅酸玻璃層在上） (a)采用橢偏分析儀測試樣品A，得到樣品A的Ψ (A) -λ曲線、采用橢偏分析儀測試樣品B，得到樣品B的Ψ (B) -λ曲線； (b)基于第一性原理密度泛函方法，求解得到樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù)； (c)將樣品A富硼層的厚度、折射率和消光系數(shù)帶入樣品B的Ψ (B) -λ曲線，通過擬合分析得到樣品B硼硅玻璃層的厚度、折射率和消光系數(shù)。 請問從步驟(C)中得到B中硼硅酸玻璃層的光學常數(shù)的原理是什么？是很常規(guī)的利用橢偏儀測試薄膜厚度與光學常數(shù)的方法嗎？ |
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