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[求助]
求助：大家初步的光刻、顯影參數(shù)都是怎么摸索的？ 已有1人參與
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一般來說購買光刻膠的廠家可能有配套的說明，但是做實驗難免會遇到光刻機光強有問題、光刻膠、顯影液過期這種麻煩 所以想請教下各位蟲友：在沒有任何參考的情況下，大家一般會采用什么樣的套路來摸索光刻與顯影的時間呢？ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
leine: 金幣+30, ★★★★★最佳答案 2019-04-11 22:01:07
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leine: 金幣+30, ★★★★★最佳答案 2019-04-11 22:01:07
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四象限曝光法。分別在片子的四個象限根據(jù)參考曝光劑量曝不同的四個劑量，然后顯影，肉眼觀察顯影效果，保證一個圖形能顯影干凈就好。然后顯微鏡觀察，測量線寬偏移值，找到最佳的曝光劑量。再縮小四個劑量的數(shù)值范圍，再重復(fù)上面的實驗，得到更精確的曝光值。 一般兩三輪就搞定了。 如果不明白，可以找研材微納買光刻膠，工藝中出現(xiàn)問題，直接發(fā)圖片給工程師找支援，問題一般很快解決。 像光刻膠和顯影液過期這種，研材有賣小包裝的，不用太考慮這方面的問題。一旦有過期出現(xiàn)，有歷史資料可查，也很容易抓出問題所在。 |
2樓2019-04-11 14:48:04
3樓2019-04-11 22:00:55
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